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    龙门双驱三轴精密运动平台

    重复定位精度 ±1μm

    高动态响应特性

    低静态抖动

    快速整定

    支持非标定制

    |  产品详情

    技术指标

     数据

    有效行程

    X轴:300mm    Y轴:300mm

    最大速度

    X轴:1000mm/s    Y轴:1000mm/s

    最大加速度 

    X轴:0.6G    Y轴:0.6G

    重复定位精度

    X轴:±0.5μm  Y轴:±1μm   θ轴:±2arcsec

    直线度

    X轴:±4μm   Y轴:±4μm

    行走平面度

    X轴:±5μm   Y轴:±4μm

    XY正交度 

    ±5μm 

    最大负载

    10kg

    光栅尺分辨率

    0.1μm

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